化合物半导体厂房选址要求 | 集成电路产业 · 化合物半导体

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化合物半导体厂房选址要求 | 集成电路产业 · 化合物半导体

招商引资葛毅明135246785153个月前 (05-31)79

化合物半导体是新一代半导体材料，广泛应用于光通信、新能源、消费电子等领域。化合物半导体制造对厂房的特殊气体供应、腐蚀防护、精密温控等方面有严格要求。本文详细解析化合物半导体厂房的选址要求。一、特殊气体供应系统（一）高纯度气体配备高纯度特种气体供应系统，气体纯度≥99.999%。包括砷化氢、磷化氢、硅烷等外延生长所需气体。（二）气体安全设施建设独立的气体柜，配…

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